ESH：Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA：Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 AHU：Air Handling Unit空调箱 MAU：Make-up Air Unit外气空调箱 VAV：Variable Air Volumebox 可变风量风箱 FD：Fire Damper 防火风门 FSD：Combined Fire Smoke Damper防火防烟风门 SD：SmokeDamper防烟风门 PHX：Platedtype Heat Exanger 板式热交换器 FFU：Fan Filter Unit风机过滤器 HEPA：High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器 ULPA：Ultra Low Penetration Filter超高效率过滤器 A/S：Air Shower空气浴尘室 A/L：Air Lock 气闭门室 DCC：Dry Cooling Coil 干盘管 FCU：Fan Coil Unit小型冷风机 SF：Smoke Fan消防排烟风车 EF：Exhaust Fan 通风排气风车 CUP：Central Utility Plant 中央动力厂房 GEX：General EXhaust 普通及热排气 SEX：Scrubber EXhaust 酸排气 VEX：Volatile orgaic compound EXhaust有机溶剂排气 AEX：Ammonia EXhaust碱性排气 PCW：Process Cooling Water工艺冷却水 PV：Process Vacuum 工艺真空 HV：House Vacuum真空吸尘 CW：City Water自来水 FMCS：Faility Monitoring Control System厂务监控系统 MCC：Motor Control Center 马达控制中心 VFD：Variable Frequency Device变频器 CCTV：Close Circuit Televsion 闭路电视 PA：Public Adress system 广播系统 FA：Fire Alarmsystem 火灾报警系统 UPW：Ultra Pure Water超纯水 RO：Reverse Osmosis逆渗透膜 TOC：Totalorganic carbon 总有机碳 MB：Mixed bed 混床 UF：Ultrafiltration超滤 SC：Strong cation 强阳离子 SA：StrongAnion 强阴离子 WA：Weak Anion 弱阴离子 DO：Dissolved oxygen溶解氧 MM：embrane Degasify脱气膜 GF：Gravity Filter重力式过滤器. DI：Deionize 去离子水 FWW：Fluoride Waste Water低浓度氢氟酸废水 IWW：Industry Waste Water 工业废水 OWW：Organic Waste Water有机溶剂废水 DAHW：Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨废水 RCL：Recycle water制程回收循环水 RCM：Reclaim water 制程回收再利用水 HFW：High Fluoride Waste高浓度氢氟酸废液 BGW：Backgriding Waste water 晶背研磨废水 SAW：Sulfuric Acid Waste硫酸废液 PAW：PhosphoricAcid Waste 磷酸废液 SW：Stripper Waste 剥离液废液 TW：Thinner Waste 清洗废液 PIX：PIX wastePIX废液 SLW：OSLurry Wastewater Oxide 介电质研磨废水 SLW：MSLurry Wastewater Metal 金属研磨废水 SLW：PSLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨废水 PN2：Process N2制程用氮气 GN2：General N2 一般用氮气 CDA：Compressor Dry Air压缩干燥空气VMBValve Manifold Box分流阀组箱 ESH：Environment Safety Health环境安全卫生 SCBA：Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 ISO：International Organization for Standardization国际标准化组织